產品特點

• 通過自動定位功能提高操作性測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大提高樣品定位的操作性。
• 微區膜厚測量精度提高通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
• 多達5層的多鍍層測量使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
• 廣域觀察系統（選配）可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
• 對應大型印刷線路板（選配）可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。

 

產品規格
檢測器	比例計數管
X射線源	空冷式小型X射線管
管電壓	50KV
管電流	1mA
準直器	0.1、0.2mmφ2種
樣品觀察	CCD攝影機
濾波器:	一次濾波器,自動切換
對焦:	雷射對焦
樣品台移動量	250（X）×200（Y）mm
樣品最大高度	150mm